今年12月3日,新核芯科技在官网发文称,该公司在今年7月举行了首台光刻机进场典礼。文章指出,光刻机为半导体产业封装厂及晶圆厂关键设备,在如今世界局势的瞬息万变中,新核芯采用国产光刻机,确保将依此稳定生产提高产能。
现场图片显示,新核芯科技进场的首台封装光刻机确实由上海微电子生产,但设备总数和具体技术细节并未披露。
随后在12月5日,联合新闻网等台媒报道称,在青岛正式投产的富士康集团第一座晶圆级封测厂,引进多达46台上海微电子的28nm光刻机。报道称,该光刻机8月完成技术检测和认证,意味着上海微电子的光刻机实现从90nm到28nm的跨越。
观察者网查询上海微电子官网发现,该公司光刻机产品分为用于IC前道制造的600系列光刻机和用于IC后道先进封装的500系列光刻机。其中,600系列光刻机最新型号SSA600/20的分辨率为90nm,而500系列光刻机的最小分辨率为1μm。
显然,台媒混淆了制造用光刻机和先进封装用光刻机。
在封装用光刻机领域,上海微电子早有突破。
2020年6月,方正证券的一份研报显示,上海微电子在封装光刻机领域已经实现批量供货,是多家封测龙头企业(日月光、通富微电、长电科技等)的主要供货商,国内封装光刻机市场占有率高达80%。不只在国内市场有所建树,上海微电子的封装光刻机还出口海外市场,在全球市场的占有率高达40%。
今年9月,上海微电子宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。据该公司介绍,此次推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点,可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用。