99.999999999%纯度的电子级多晶硅,我国也能出口了!

2018-06-08 16:00:30    观察者网综合  参与评论()人

【观察者网 综合报道】据《科技日报》6日报道,纯度要求达到99.999999999%的电子级多晶硅终于量产。这标志着我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准,也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。

《科技日报》记者6日从江苏鑫华半导体材料科技有限公司获悉,经过一系列严格的验证、检测,近日一批集成电路用高纯度硅料出口韩国,同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。

99.999999999%纯度的电子级多晶硅,我国也能出口了!

电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料,过去中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本完全依赖进口。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料。

相对于太阳能级多晶硅99.9999%纯度,电子级多晶硅的纯度要求达到99.999999999%。5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量相当于一枚1元硬币的重量。

据徐州发布消息,江苏鑫华半导体材料科技有限公司总经理田新表示,鑫华半导体研发团队历经317次电子级多晶硅生产试验,用一年多时间,对629项技术、设备优化改进,以70%的国产设备,系统性解决了杂质释放问题,实现了原料端彻底祛除和控制杂质,并且全球首创采用自动化无接触硅料处理系统。

99.999999999%纯度的电子级多晶硅,我国也能出口了!

电子级多晶硅棒

鑫华半导体材料科技有限公司副总经理张晓东表示,中国是世界最大电子产品制造国,每年对集成电路器件及芯片需求巨大,但几十年来基本依赖欧美日进口。鑫华电子级多晶硅的自主生产,标志着我国电子级多晶硅突破海外多年技术封锁,填补国家集成电路产业专项一项空白。

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